晶圓加熱臺
簡要描述：● 對晶片、玻璃基板等極薄的工件進行均勻加熱。● 工件可以通過真空吸附固定。● 可通過附帶的溫度調節器進行精密溫度控制。晶圓加熱臺
產品型號： PH201K-06
所屬分類：加熱設備
更新時間：2024-07-01
詳細說明：
特點
● 對晶片、玻璃基板等極薄的工件進行均勻加熱。
● 工件可以通過真空吸附固定。
● 可通過附帶的溫度調節器進行精密溫度控制。
規格
● 板尺寸:Φ6英寸晶圓加熱臺
● 表面處理:鍍金
● <熱卡盤部分>
晶圓加熱臺 ● ▼可卡盤尺寸:Φ2~6英寸
● ▼溫度控制范圍:室溫~200°C
● ▼溫度精度:±1.5%
● ▼電容量:900 W
● ▼尺寸:200×234×54 mm
● ▼重量:約3 kg
● <溫度調節器>
● ▼電源:AC 100 V 50/60 Hz
● ▼尺寸:98×156×101 mm
● ▼重量:約1.3 kg
● ※另外需要真空泵 (推薦泵例:1 -9197-02隔膜型干式真空泵DAP -12 S) 。
EGOAN易購安是一家LAB實驗室儀器和MRO工業品領域的B2C電子商務公司。致力于為 研究人員、技術人員 提供高品質實驗室儀器與耗材、工業消費品的采購平臺。主要包括實驗室儀器、實驗室耗材、安全防護用品、檢測計量、生產加工工具、焊接器材、光學儀器、化學制品、物流保管、包裝材料等數千分類及上百萬種商品，幫助客戶實現MRO工業品和LAB實驗室儀器“一站式采購"。
